AIのアノード酸化とレーザー照射を利用した金属微細構造の作成 - 新LIGAプロセスを目指して -
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概要
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- 1999-08-01
著者
-
高橋 英明
北海道大学大学院 工学研究科
-
坂入 正敏
北海道大学大学院工学研究科
-
高橋 英明
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
坂入 正敏
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
坂入 正敏
北海道大学
-
菊池 竜也
北海道大学大学院工学研究科
-
加藤 善大
北海道大学大学院工学研究科分子化学専攻界面制御工学講座表界面微細構造解析分野
-
松竹 〓
北海道大学大学院 工学研究科
-
高橋 英明
北海道大学 大学院工学研究科
-
加藤 善大
東北工大
-
菊地 竜也
北海道大学 大学院工学研究院
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