アルミニウムおよびその酸化物からなる微細配線形成法の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-09-01
著者
-
菊地 竜也
北海道大学大学院 工学研究科
-
菊地 竜也
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
坂入 正敏
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
坂入 正敏
北海道大学
-
藤田 哲
北海道大学 大学院工学研究院
-
菊地 竜也
北海道大学 大学院工学研究院
-
菊地 竜也
北海道大学
関連論文
- レーザー照射と電解エッチングを用いたアルミニウムの表面微細加工
- アルミニウムのアノード酸化とレーザー照射を用いた極微細金属配線の作製 : −光学系の改良による金属パターン微細化の検討−
- 同軸2重管溶液フロー型液滴セルを用いるCuマイクロロッドの作製(E)
- 溶液フロー型液滴セルを用いる局部電気化学
- ポリピロール/金の2層構造を有する3次元マイクロアクチュエーターの作製
- AST2008国際会議報告 : アノード酸化の新しい世界
- アノード酸化とマイクロ・ナノテクノロジー
- 無電解めっきとレーザー照射による有機樹脂板上へのCuマイクロパターン形成
- 2008年3学協会北海道支部研究発表会報告
- カソード分極中におけるアノード酸化皮膜化成ニオブ電極への水素吸収