エキシマレｰザｰ･ドライ･エッチング法を用いたZnO三次元光導波路の試作
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概要
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- 1995-04-15
著者
-
Wakaki Moriaki
Department O Electro-photo-optics Engineering Tokai University
-
Sawada M
Department Of Electro Photo Optics School Of Engineering Tokai University
-
Sawada Masaki
Department Of Dermatology Nagoya University Graduate School Of Medicine
-
Wakaki Moriaki
Department Of Electro Photo Optics School Of Engineering Tokai University
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