テトラメトキシシランからのシリカ微粉の気相合成

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概要

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• 半導体産業の発展などから高機能なシリカ製品が注目されている. なかでも微粒シリカの用途は多岐にわたる. 現在の主な製造法では, 多くの問題がある. そこで本研究では, 液相法が主流であるアルコキシシランの加水分解を気相中において行い, 連続合成によりシリカ合成することを想定し, 操作条件が反応速度(粒子生成速度)および生成した粒子性状に与える影響を検討した. 反応条件を変えることで粒子径の制御が可能であることが示された.

• 社団法人　化学工学会の論文
• 2004-05-20

著者

• 加藤 茂

  成蹊大学理工学部物質生命理工学科

• 上宮 成之

  岐阜大学・工学部

• 上宮 成之

  岐阜大学工学部 応用化学科

• 小島 紀徳

  成蹊大学工学部応用化学科

• 加藤 茂

  成蹊大学工学部応用化学科

• 小島 紀徳

  成蹊大学理工学部物質生命理工学科

• 内山 剛史

  成蹊大学工学部 応用化学科

• 渋谷 博光

  日揮(株)技術・ビジネス開発本部技術開発部

• 渋谷 博光

  日揮(株)rdセンター技術開発部

• 上宮 成之

  岐阜大学工学部

• 小島 紀徳

  成蹊大学工学部

• 加藤 茂

  成蹊大学工学部 応用化学科

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