プラズマCVD法による粒子のSiC薄膜コーティング
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概要
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- 社団法人 表面技術協会の論文
- 1995-09-01
著者
-
上宮 成之
岐阜大学・工学部
-
上宮 成之
成蹊大学工学部
-
小島 紀徳
成蹊大学工学部応用化学科
-
英 敬信
成蹊大学理工学部物質生命理工学科
-
英 敬信
成蹊大学工学部工業化学科
-
小島 紀徳
成蹊大学工学部
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