単結晶シリコンの超精密加工におけるクラック発生に及ぼす研削条件の影響
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概要
著者
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李木 経孝
広島国際学院大学工学部
-
中村 格芳
広島国際学院大学工学部
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中村 格芳
広島国際学院大学工学部総合工学科
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李木 経孝
広島電機大学
-
後藤 崇之
三菱重工業 基盤技研
-
後藤 崇之
三菱重工業(株)先進技術研究センター
-
李木 経孝
広島電機大学工学部機械工学科
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