単粒研削した単結晶シリコンの表面および内部クラックの評価
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概要
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- 2002-10-01
著者
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李木 経孝
広島国際学院大学工学部
-
中村 格芳
広島国際学院大学工学部
-
中村 格芳
広島国際学院大学工学部総合工学科
-
李木 経孝
広島電機大学
-
久永 哲也
広島国際学院大学大学院
-
李木 経孝
広島電機大学工学部機械工学科
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