MEMS/NEMS材料における破壊と疲労特性評価

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概要

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• 2002-10-20

著者

• 高島 和希

  熊本大学大学院自然科学研究科産業創造工学専攻

• 高島 和希

  東京工業大学精密工学研究所

• 肥後 矢吉

  東京工業大学精密工学研究所

• 肥後 矢吉

  東工大

• 肥後 矢吉

  東京工業大学

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