ミスカットSrTiO_3基板上のPbTiO_3スパッタ薄膜の構造と薄膜成長機構 : ミスカット角度の薄膜構造への影響
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 1998-07-10
著者
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足立 秀明
松下電器産業(株)先端技術研究所
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足立 秀明
松下電器産業先端研
-
足立 秀明
松下電器 先端技術研究所
-
足立 秀明
松下電器産業(株) 先端技術研究所
-
羽根田 陽子
(財)地球環境産業技術研究機構
-
和佐 清孝
横浜市立大学理学部
-
神野 伊策
松下電器産業(株)中央研究所
-
羽根田 陽子
地球環境研
-
足立 秀明
松下電器 先端研
-
足立 秀明
松下電器産業 先端技研
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