スパッタ法による無限層薄膜作製と積層化
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概要
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無限層薄膜をスパッタ法を用いて作製し、超伝導体化および積層化の試みを行った。無限層構造は酸素還元ターゲットを用いることにより、スパッタ法で安定に薄膜として得ることができた。SrCuO_2無限層薄膜のSrをNdで置換した場合、置換量と共に電気抵抗が低下をみせ高圧合成のバルクと同様に超伝導性が出現した。積層はSrCuO_2, (Sr,Ca)CuO_2と(Sr,Ca)CuO_2/(Sr,Ca)RuO_3の2つの構造について試み実現できた。無限層薄膜に特有な面欠陥構造は、任意の積層構造により抑制が可能なことが判った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-02-16
著者
-
足立 秀明
松下電器産業(株)先端技術研究所
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足立 秀明
松下電器 先端技術研究所
-
足立 秀明
松下電器産業(株) 先端技術研究所
-
瀬恒 謙太郎
松下電器 先端技術研究所
-
瀬恒 謙太郎
松下電器産業(株)中央研究所
-
佐藤 利文
松下電器産業(株)中央研究所
-
瀬垣 謙太郎
松下電器産業(株)中央研究所
-
瀬垣 謙太郎
松下電器 先端技術研究所
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足立 秀明
松下電器産業 先端技研
-
瀬恒 謙太郎
松下電器産業(株) 中央研究所
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