スパッタ中の酸素分圧によるPbTiO3スパッタ薄膜の徴細構造変化
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 1999-07-10
著者
-
市川 陽子
(財)地球環境産業技術研究機構
-
足立 秀明
松下電器産業(株)先端技術研究所
-
足立 秀明
松下先端研
-
足立 秀明
松下電器産業(株) 先端技術研究所
-
和佐 清孝
横浜市大学理学部
-
足立 秀明
松下電器産業 先端技研
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