強誘電体薄膜の微細構造の制御
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概要
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スパッタ法で形成したPb-Ti-O系ペロブスカイト構造ヘテロエピタキシャル薄膜の微細構造とミスカット基板を用いたPbTiO_3薄膜微細構造の制御について、この種の薄膜の光導波路デバイス、強誘電体メモリーなどへの応用と関連させた実験を紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-07
著者
-
足立 秀明
松下電器産業(株)先端技術研究所
-
足立 秀明
松下電器産業先端研
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足立 秀明
松下電器 先端技術研究所
-
足立 秀明
松下電器産業(株) 先端技術研究所
-
瀬恒 謙太郎
松下電器 先端技術研究所
-
羽根田 陽子
(財)地球環境産業技術研究機構
-
瀬恒 謙太郎
松下電器産業(株)中央研究所
-
羽根田 陽子
地球環境研
-
和佐 清孝
(財)地球環境産業技術研究機構
-
佐藤 利文
松下電器産業(株)中央研究所
-
瀬垣 謙太郎
松下電器産業(株)中央研究所
-
瀬垣 謙太郎
松下電器 先端技術研究所
-
足立 秀明
松下電器 先端研
-
足立 秀明
松下電器産業 先端技研
-
瀬恒 謙太郎
松下電器産業(株) 中央研究所
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