PbTiO_3および(Pb,La)TiO_3スパッタ薄膜の配向性への冷却効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 日本表面科学会の論文
- 2000-08-10
著者
関連論文
- ミスカットSrTiO_3基板上のPbTiO_3スパッタ薄膜の構造と薄膜成長機構 : ミスカット角度の薄膜構造への影響
- ペロブスカイト薄膜の微細構造と制御
- PbTiO_3および(Pb,La)TiO_3スパッタ薄膜の配向性への冷却効果
- スパッタ中の酸素分圧によるPbTiO3スパッタ薄膜の徴細構造変化
- サマリー・アブストラクト
- 23pYQ-1 強誘電体薄膜研究の現状と課題
- プラズマ化学反応素過程の研究(1)-温暖化ガスCH_4, CO_2の分光-
- 閉じ込め磁束型マグネトロンカソード
- Pb(Zr, Ti)O_3エピタキシャル膜のガラス基板上への転写と誘電特性評価
- 磁界中のグロー放電におけるCO_2の解離と放電条件に関する研究
- ブラジル真空学会に参加して
- 真空技術と地球環境
- ドライプロセス技術と地球環境
- 地球環境保全と真空技術