磁界中のグロー放電におけるCO_2の解離と放電条件に関する研究
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概要
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We have studied on a cold-CO<SUB>2</SUB>plasma in a Penning-type rf-glow discharge tube (13.56 MHz) for a gas pressure ranged from 2 to 133 Pa by using optical emission spectroscopy and quadrapole mass spectrometry. It was found that the discharge power to sustain a glow discharge varied with the gas pressure similar to the Paschen's law on a sparking voltage. The minimum rf-power was found at 10Pa. The optical emission spectroscopy and the quadrapole mass spectrometry showed ionization of CO<SUB>2</SUB> was predominant at a low gas pressure region below the minimum discharge gas pressure of 10 Pa. While, the dissociation of CO<SUB>2</SUB> was predominant at a high gas pressure region above the minimum gas pressure of 10 Pa. The addition of H<SUB>2</SUB> into the CO<SUB>2</SUB> plasma in the high gas pressure region produced C<SUB>n</SUB>H<SUB>x</SUB> such as CH<SUB>3</SUB> and C<SUB>2</SUB>H<SUB>3</SUB> at a room temperature. The glow discharge plasma has a potential for a fixing and/or control of CO<SUB>2</SUB> greenhouse gas under a low power consumption.
- 一般社団法人 日本真空学会の論文
- 2004-07-20
著者
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