試料冷却法を用いたSIMS測定におけるSi酸化膜中Naの挙動
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2000-09-10
著者
-
工藤 正博
成蹊大学理工学部
-
工藤 正博
成蹊大学工学部物理情報工学科
-
齋藤 玲子
(株)東芝生産技術センター
-
林 俊一
新日本製鐵(株)先端技術研究所
-
林 俊一
東京工業大学
-
林 俊一
新日本製鐵(株)
-
林 俊一
新日本製鐵 (株) 先端技術研究所
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