齋藤 玲子 | (株)東芝生産技術センター

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概要

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関連著者

• 工藤 正博

  成蹊大学理工学部

• 工藤 正博

  成蹊大学工学部物理情報工学科

• 齋藤 玲子

  (株)東芝生産技術センター

• 星 孝弘

  アルバック・ファイ株式会社

• 林 俊一

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 林 俊一

  東京工業大学

• 星 孝弘

  アルバック・ファイ(株)

• 工藤 正博

  成蹊大学工学部計測数理工学科

• 牧野 伸顕

  (株)東芝生産技術研究所

• 一戸 裕司

  成蹊大学工学部計測数理工学科

• 林 俊一

  新日本製鐵(株)

• 牧野 伸顕

  (株)東芝生産技術センター

• 林 俊一

  新日本製鐵 (株) 先端技術研究所

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著作論文

• TOF-SIMSによるUV照射したフォトレジスト表面の化学構造変化の評価
• スタティックSIMS法の基礎と応用
• 試料冷却法を用いたSIMS測定におけるSi酸化膜中Naの挙動
• TOF-SIMSを用いたポリマーの化学構造解析

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