一戸 裕司 | 成蹊大学工学部計測数理工学科
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概要
関連著者
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工藤 正博
成蹊大学理工学部
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工藤 正博
成蹊大学工学部物理情報工学科
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アルバック・ファイ株式会社
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星 孝弘
アルバック・ファイ(株)
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一戸 裕司
成蹊大学工学部計測数理工学科
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遠藤 一央
金沢大学理学部
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齋藤 玲子
(株)東芝生産技術センター
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遠藤 一央
金沢大学理学部化学科
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曽我 雅康
神奈川県産業技術総合研究所
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長沼 康弘
神奈川県産業技術総合研究所
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牧野 伸顕
(株)東芝生産技術研究所
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西原 孝義
成蹊大学工学部
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遠藤 一央
三菱製紙(株)総合研究所
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牧野 伸顕
(株)東芝生産技術センター
著作論文
- TOF-SIMSによるUV照射したフォトレジスト表面の化学構造変化の評価
- TOF-SIMSによりポリメタクリル酸メチル(PMMA)表面から得られた二次イオン強度の解析
- TOF-SIMS, Q-SIMS, XPSによるイオン照射に伴う有機材料表面の状態変化の解析