非共鳴多光子吸収イオン化法による鋼中微量元素の定量(表面分析)(<特集>分析評価・解析)
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概要
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Sputtered Neutral Mass Spectrometry (SNMS) employing nonresonant laser post-ionization has been studied for quantitative analysis of steel standard sample. SNMS technique can overcome weakpoint of the conventional SIMS, that is, low quantitativeness, by means of detecting sputtered neutrals. Because the numbers of sputtered neutrals are proportional to the concentration of the surface of the sample. In this report, impurity elements in the steel sample were evaluated quantitatively down to ppm level. And metallic contaminant elements on the silicon surface were confirmed to be quantitatively determined down to 10^<11> atoms/cm^2. And post-ionization efficiency was also estimated, resulting nearly 16%.
- 社団法人日本鉄鋼協会の論文
- 1991-11-01
著者
-
林 俊一
新日本製鐵(株)先端技術研究所
-
林 俊一
東京工業大学
-
大坪 孝至
(社)日本鉄鋼連盟
-
大坪 孝至
新日本製鉄株式会社鉄鋼研究所
-
大坪 孝至
新日本製鉄(株)第一技術研究所
-
林 俊一
新日本製鉄(株)先端技術研究所
-
橋口 栄弘
新日本製鉄(株)先端技術研究所
-
MCINTOSH Bruce
V. G. Scientific
-
橋口 栄弘
新日本製鉄(株)分析研究センター
-
橋口 栄弘
新日本製鉄先端技術研究所
-
橋口 栄弘
新日本製鉄 (株)
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