グロー放電発光分析法による深さ方向分析におけるスパッタリング及び発光特性(<特集>無機材料分析のためのスペクトロメトリー)
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概要
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グリム型ランプを使用するグロー放電発光分析法(GDS)による定量的深さ方向分析法のために放電特性及び発光特性のマトリックス依存性について調べた.その結果,マトリックスが異なることによる放電特性の変化は二次電子放出効率の変化による電流-電圧曲線のシフトにより説明されること,酸化物層においてもスパッタリング及び放電特性の基本的な性格は金属,合金と同一であることが明らかとなった.又,一定アルゴン圧の下では,スパッタされた元素の単位重量当たりの発光強度(見掛けの発光効率)は電圧を固定した場合にはマトリックスの影響を受けないが,電流を固定した場合にはマトリックス変化に起因する電圧変動によりその値が変わることを見いだした.従って定電圧モードでGDS分析を行うならば,発光強度の積分値をスパッタ量に結びつける光強度積分法により定量的な深さ方向分析ができる.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1986-08-05
著者
-
森 隆
(株)日鉄テクノリサーチ
-
鈴木 堅市
新日本製鉄株式会社鉄鋼研究所
-
山崎 修一
新日本製鉄(株)分析研究センター
-
大坪 孝至
新日本製鉄(株)分析研究センター
-
大坪 孝至
新日本製鉄株式会社鉄鋼研究所
-
山崎 修一
新日本製鉄株式会社鉄鋼研究所
-
山崎 修一
新日本製鉄 (株) 鉄鋼研究所
-
山崎 修一
新日本製鉄 (株)
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