共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法によるSi/Ti多層膜の深さ方向分析 : SIMS/SNMSによるマトリックス効果の検証
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概要
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- 2010-08-10
著者
-
林 俊一
新日本製鐵(株)先端技術研究所
-
久保田 直義
新日本製鐵(株)先端技術研究所
-
林 俊一
東京工業大学
-
竹中 久貴
NTT-AT
-
西野宮 卓
新日本製鐵(株)先端技術研究所
-
林 俊一
新日本製鐵(株)
-
竹中 久貴
Ntt-atナノファブリケーション株式会社
-
竹中 久貴
Ntt-a
-
林 俊一
新日本製鐵 (株) 先端技術研究所
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