放射光を用いた全反射蛍光 X 線分析法によるシリコンウェーハ表面清浄度分析(表面分析)(<特集>分析評価・解析)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• The monitoring of surface cleanliness of silicon waters is very important. Total Reflection X-ray Fluorescence is expected to be highly sensitive for the ultra trace contaminants on the top surface. Synchorotron radiation is an appropriate X-ray source. This method was applied to relatively heavy elements such as Cr, Fe, Ni, Zn, which were suffused on silicon wafer surfaces by spin coating technique. This method has been found to have high quantitativeness and its minimum detection limits for those elements was found to be the order of 10^<11> atoms/cm^2. And this method was also found to be applicable to the real samples in the course of cleaning.

• 社団法人日本鉄鋼協会の論文
• 1991-11-01

著者

• 林 俊一

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 林 俊一

  東京工業大学

• 林 俊一

  新日本製鉄(株)先端技術研究所

• 橋口 栄弘

  新日本製鉄(株)先端技術研究所

• 橋口 栄弘

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 橋口 栄弘

  新日本製鉄 (株)

関連論文

• 試料冷却法を用いたSIMS測定におけるSi酸化膜中Naの挙動
• 共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法によるSi/Ti多層膜の深さ方向分析--SIMS/SNMSによるマトリックス効果の検証 (第29回表面科学学術講演会特集号(2))
• 331 蛍光 X 線法によるターンシートメッキ部の組成およびメッキ厚の同時分析(分析, 性質, 日本鉄鋼協会 第 95 回(春季)講演大会)
• 372 X 線ケミカルシフト法による高炉スラグ中硫黄の形態別分析(分析, 性質, 日本鉄鋼協会第 94 回(秋季)講演大会)
• 355 酸化物中の水素定量分析方法(部会報告講演会・分析, 性質, 日本鉄鋼協会第 92 回(秋季)講演大会)
• 315 EPMA による鋼のミクロ分析方法の確立(廃酸処理・情報処理・分析, 性質, 日本鉄鋼協会第 90 回(秋季)講演大会)
• 314 EPMA によるケミカルシフト分析について(廃酸処理・情報処理・分析, 性質, 日本鉄鋼協会第 90 回(秋季)講演大会)
• 230 蛍光 X 線分析による多鋼種試料の自動補正定量法(分析, 加工・性質, 日本鉄鋼協会 第 85 回(春季)講演大会)
• 6a-C3-17 希土類(La-Yb)酸化物の3d内殻光電子スペクトル
• 固体表面分析
• LEEMによる鋼における動的挙動の観察
• 共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法によるSi/Ti多層膜の深さ方向分析 : SIMS/SNMSによるマトリックス効果の検証
• レーザーイオン化法による自動車排出ガスのリアルタイム質量分析(第2報) : モード走行時の排出傾向
• レーザーイオン化法による自動車排出ガスのリアルタイム質量分析(第1報) : 多成分同時分析装置の開発
• 1E1700-1 レーザー多光子イオン化による自動車排気未規制物質の分子選択リアルタイム分析(自動車から排出される未規制有害成分の計測方法と排出実態把握,5.自動車環境分科会,分科会)
• 環境負荷物質分析のための高感度オンラインレーザーイオン化質量分析装置の開発
• 超音速分子ジェット多光子共鳴イオン化質量分析装置を用いる石炭加熱時のナフタレン発生挙動の観察(安心と安全に役立つ分析化学)
• レーザーイオン化質量分析による超微量物質検出
• 超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析法を基本とする環境負荷物質リアルタイムモニタリング装置の開発(分析・解析)
• 超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を基本とした高温炉内微量ガスリアルタイムモニタリング分析装置の開発 : 高感度 Daly 検出器の試作
• 超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を基本とした高温炉内微量ガスリアルタイムモニタリング分析装置の開発
• 光励起 : 共鳴多光子イオン化法による分子のインタクトイオン化
• 超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を基本とした高温炉内微量ガス分析技術の開発-II
• 超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を基本とした高温炉内微量ガス分析技術の開発
• 非共鳴多光子吸収イオン化法による鋼中微量元素の定量(表面分析)(分析評価・解析)
• 冷延鋼板にイオン注入した窒素の深さ分析 (イオン注入技術による表面改質)
• 507 水素気流中加熱抽出分析法による炭化ケイ素中のフリー炭素の定量(元素・状態・表面分析, 分析・表面処理, 日本鉄鋼協会第 112 回(秋季)講演大会)
• 431 グロー放電発光分光法によるチタンの表面分析(元素分析・状態分析・表面分析, 分析・表面処理, 日本鉄鋼協会第 109 回(春季)講演大会)
• 新日本製鐵の解析技術の開発概要と今後の展望 (解析技術特集)
• 大気浮遊単一微粒子評価のための収束イオンビーム飛行時間型二次イオン質量分析装置の開発 (解析技術特集)
• Mgを含有する溶融Zn-Alめっき鋼板の腐食初期挙動に及ぼすめっき組織の影響
• SIMSにおける試料冷却法
• (16) 二次イオン質量分析法による半導体材料・薄膜評価(主題 : 素材・材料プロセスに係わる物性と評価)(素材工学研究所第 6 回研究懇談会)(素材工学研究会記事)
• 二次イオン質量分析法の展開
• 放射光を用いた全反射蛍光 X 線分析法によるシリコンウェーハ表面清浄度分析(表面分析)(分析評価・解析)
• 426 二次イオン質量分析法によるチタンの局所分析(元素分析・状態分析・表面分析, 分析・表面処理, 日本鉄鋼協会第 109 回(春季)講演大会)
• VAMAS-SCA-WG in Japan活動報告
• NBS 留学雑感
• キログラム原器の話
• レーザー多光子イオン化法を用いたモード走行中自動車排出ガスに関する個別成分のリアルタイム分析とOHラジカル反応性の評価

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク