西野宮 卓 | 新日本製鐵(株)先端技術研究所

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概要

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• 新日本製鐵(株)先端技術研究所の論文著者

関連著者

• 林 俊一

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 西野宮 卓

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 久保田 直義

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

• 林 俊一

  東京工業大学

• 竹中 久貴

  NTT-AT

• 林 俊一

  新日本製鐵(株)

• 竹中 久貴

  Ntt-atナノファブリケーション株式会社

• 竹中 久貴

  Ntt-a

• 辻 典宏

  新日本製鐵株式会社技術開発本部先端技術研究所

• 林 俊一

  新日本製鐵 (株) 先端技術研究所

著作論文

• 共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法によるSi/Ti多層膜の深さ方向分析--SIMS/SNMSによるマトリックス効果の検証 (第29回表面科学学術講演会特集号(2))
• 共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法によるSi/Ti多層膜の深さ方向分析 : SIMS/SNMSによるマトリックス効果の検証
• 大気浮遊単一微粒子評価のための収束イオンビーム飛行時間型二次イオン質量分析装置の開発 (解析技術特集)

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