シリコン表面酸化の様子をシミュレーションする
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概要
著者
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加藤 弘一
(株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー
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宇田 毅
アトムテクノロジー研究所オングストロームテクノロジ研究機構
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加藤 弘一
アトムテクノロジー研究体, オングストロームテクノロジ研究機構
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宇田 毅
アトムテクノロジー研究体
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