結晶格子を用いた実時間2次元変位エンコーダの開発 (第3報:数100nm領域での制御)
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
高田 孝次
長岡工業高等専門学校
-
千早 尚子
長岡技大(院)
-
明田川 正人
長岡技大
-
高田 孝次
長岡技大
-
明田川 正人
長岡技術科学大学工学部機械系
-
明田川 正人
長岡技科大
-
岡 有希
長岡技大(院)
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