周波数可変ダイオードレーザを光源とする位相変調ホモダイン変位計測干渉計 : —第1報：要素技術の開発—
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概要
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Since an ultra precision technology, e.g. a lithography, have been progressing rapidly, displacement measuring methods with resolution of sub-nanometer or less are required. Displacement measuring interferometers are widely utilized in precision engineering industries. However, they suffer from problems of an imperfect interpolation error of nanometer order and an air refractive index fluctuation. In this paper, we propose and discuss a displacement measurement method with no interpolation error by combining a phase modulation homodyne interferometer with a tunable laser diode and the null method. We also discuss the capability to measure the air refractive index fluctuation.
著者
-
松浦 文生
長岡技術科学大学
-
明田川 正人
長岡技術科学大学工学部機械系
-
石下 雅史
長岡技術科学大学大学院
-
河杉 正晃
長岡技術科学大学大学院
-
星野 雄太
長岡技術科学大学大学院
-
クォックトゥアン バン
長岡技術科学大学大学院
-
明田川 正人
長岡技術科学大学
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