圧電素子と空気圧アクチュエータを組合わせた長ストローク精密アクチュエータ

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概要

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• 1998-03-05

著者

• 山形 豊

  理研

• 劉 永田

  国立高雄第一科技大学

• 樋口 俊郎

  東大工学部

• 劉 永田

  東大大学院

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