パルスエアジェットによる各種表面からの微粒子の除去 -除去パラメータによる粒子除去率の予測-
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概要
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表面に付着した粒子を乾式で除去する方法として, 高速気流を繰り返し噴射するパルスエアジェット法は1μm以下の微粒子の除去に極めて有効である.本報では, まず平滑表面に付着した球形粒子 (粒径0.5〜5μm) の積算除去率を, 1パルス目に除去される粒子の割合γ<SUB>1</SUB>, 最終的に除去されない粒子の割合α<SUB>0</SUB>, そして1パルスあたりに除去される粒子の割合に関するパラメータ<I>C</I>を用いて相関し, 各パラメータと粒子に働く除去力と付着力の比である除去パラメータ<I>F</I><SUP>*</SUP>の関係について検討した.その結果, 平滑表面からの粒子除去率は, γ<SUB>1</SUB>, α<SUB>0</SUB>, <I>C</I>の3つのパラメータにより精度よく相関でき, また各パラメータは<I>F</I><SUP>*</SUP>のみの関数として与えられることがわかった.さらに, 規則的な凹凸を有するSUS表面からの粒子除去についても検討した結果, ある表面粗さに対して最も除去しにくい粒径が存在すること, および粗い表面からの粒子除去率も3つのパラメータによって相関できることがわかった.しかしながら, これらのパラメータと<I>F</I><SUP>*</SUP>の関係については, F<SUP>*</SUP>以外に表面粗さを示すパラメータを新たに導入する必要があることがわかった.
- 社団法人 化学工学会の論文
- 1998-01-10
著者
-
並木 則和
金沢大学工学部
-
並木 則和
工学院大学
-
江見 準
金沢大学工学部物質化学工学科
-
大谷 吉生
金沢大学工学部
-
並木 則和
金沢大学工学部物質化学工学科
-
江見 準
金沢大
-
江見 準
金沢大学工学部
-
並木 則和
工学院大学工学部
-
大谷 吉生
金沢大学工学 部物質化学工学科
-
江見 準
金沢大学工学 部物質化学工学科
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