クリーンルーム環境における誘電体表面の電位分布が除電性能に及ぼす影響について
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概要
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In this study, the measurement of two-dimensional voltage distribution on tribocharged dielectric polymers was conducted with a high-resolution electrostatic voltmeter in cleanroom environments. The distribution was very nonuniform. This measurement technique was applied to evaluate the performance of .charge-removal methods for the dielectrics. The ionizer had difficulty in neutralizing surface charges distributed in the form of mosaics of mixed negative and positive charges. On the other hand, IPA-dipping had drastic charge-removal effects not only to reduce their mean voltage but also to render their voltage distribution uniform.
- 社団法人日本建築学会の論文
- 1993-04-30
著者
-
藤井 修二
東京工業大学
-
並木 則和
工学院大学
-
渋谷 幸徳
トーヨコグループ技術研究所
-
並木 則和
東京工業大学大学院総合理工学研究科社会開発工学専攻
-
渋谷 幸徳
(株)トーヨコ地球環境研究所新技術開発部
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