ダイヤモンド陰極を低温にした直流放電プラズマCVD法によるダイモンド薄膜の合成
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概要
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- 1998-06-01
著者
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広瀬 洋一
東海大学電子情報学部エレクトロニクス学科
-
広瀬 洋一
東海大学 電子情報学部
-
山中 博
トーメイダイヤ(株)
-
阿部 匡朗
東海大学 工学部
-
廣澤 さくら
東海大学 工学部
-
広瀬 洋一
東海大 電子情報
-
広瀬 洋一
日本工業大学
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