KrFエキシマレーザドーピングによるN型GaAsへの自己整合的銅薄膜の堆積

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概要

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• 電気学会の論文
• 1995-11-20

著者

• 豊田 浩一

  理化学研究所

• 杉岡 幸次

  理化学研究所

• 豊田 浩一

  理化学研究所レーザー科学研究グループ

• 杉岡 幸次

  理化学研究所レーザー物理工学研究室

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