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Faculty Of Engineering Tohoku University | 論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- High Frequency Responses of YBa_2Cu_3O_ Josephson Junctions on Si Substrates Fabricated by Focused Electron Beam Irradiation
- Composition of Service and Protocol Specifications in Asynchronous Communication System(Networks)
- 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
- シリコン技術
- 硫酸塩晶析分離法による磁石スクラップからのサマリウムおよびネオジムの分離回収 -希土類磁石材料のリサイクリングに関する基礎的研究(第2報)-
- Prediction of Deformation in the Potassium-Arrested Canine Left Ventricle Using the Finite Element Model
- Effects of Changes in Chamber Geometry by Chronic Pressure-Overload on Wall Stress and Strain as Studied in the Potassium-Arrested Canine Left Ventricle
- シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
- SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
- Selection Networks with $8n$ log$_2$ $n$ Size and $O$(log $n$) Depth