スポンサーリンク
広島工業大学工学部電子・光システム工学科 | 論文
- 多重磁極型高周波マグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の基板温度依存性
- RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法により作製したAl/ITO界面の評価
- RF-DC結合型プラズマCVD法によるa-Si:H薄膜の成長速度
- 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したCu薄膜に及ぼす陽極電圧と基板バイアス電圧の効果
- 誘導結合プラズマ支援型アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCu薄膜の作製
- シンクロトロン放射光によるX線回折画像計測技術の進歩
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリングにより作成したTa/ITO界面の評価
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による Ta/Mo 薄膜の形成
- 棒状Si電極とPt点電極を組み合わせた姿勢センサの研究
- 多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜のスパッタガス圧力依存症
- 棒状Si電極による弱電解液液位計測法の基礎的研究
- Fe-SiO_2グラニュラー膜のXPS分析
- 高周波 - 直流結合形マグネトロンスパッタリングによる薄膜物性制御
- C-6-14 RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNi_x薄膜の作製
- 変形磁界型高周波マグネトロンスパッタ法によるNi薄膜の堆積速度
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性と直流バイアスによるNi薄膜の堆積速度制御効果
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるWN_x薄膜の作製とCu/WN_x/Si構造の拡散バリア効果
- アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCoN_x薄膜の電気的特性および結晶構造
- RF-DC結合形低圧マグネトロンスパッタ法の開発 : 放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果
- C-6-1 アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の堆積速度