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京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 | 論文
- T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻ナノシステム工学講座 ナノ・マイクロシステム分野 田畑研究室
- 国際ナノ/マイクロテクノロジアプリケーションコンテスト(iCAN2009)報告
- MEMS2010報告
- MAによるナノ結晶複合材料の高温変形と組織変化
- Ti-15V-3Cr-3Sn-3Al合金における三角錐形状α析出相の結晶学的考察
- 2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル
- 5517 圧電薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの研究(J19-3 マイクロメカトロニクス(3),J19 マイクロメカトロニクス)
- 圧電PZT薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発
- 2402 PZT圧電薄膜を用いた波面補償用形状可変MEMSミラーの開発(J22-1 圧電素子とマイクロアクチュエータ,J22 マイクロメカトロニクス,2005年度年次大会)
- マイクロ・ナノ材料の試験方法
- プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって
- T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
- MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
- 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
- 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
- チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術