後藤 康 | 日立製作所中央研究所

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概要

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• 後藤 康

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• 後藤 康

  日立製作所

• 後藤 康

  (株)日立製作所基礎研究所

• 後藤 康

  (株)日立製作所中央研究所

• 日野出 憲治

  日立製作所 中央研究所

• 日野出 憲治

  株式会社日立製作所中央研究所

• 武田 健一

  日立製作所 中央研究所

• 古澤 健志

  ルネサステクノロジー

• 山口 日出

  (株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部

• 近藤 誠一

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• 古澤 健志

  日立製作所中央研究所

• 佐久間 憲之

  日立製作所中央研究所

• 龍崎 大介

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• 町田 俊太郎

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• 山口 日出

  日立製作所デバイス開発センタ

• 本間 喜夫

  日立製作所中央研究所

• 日野出 憲司

  日立製作所. 中央研究所

• 後藤 康

  (株)日立製作所 中央研究所

• 武田 健一

  日立製作所中央研究所

• 町田 俊太郎

  (株)日立製作所 中央研究所

• 本間 喜夫

  (株)日立製作所 中央研究所

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Takeda Ken'ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, 1-280 Higashikoigakubo Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Higashikoigakubo, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• 横澤 宏一

  日立製作所 基礎研究所

• 山中 聖子

  日立製作所

• 原田 武

  日立製作所 基礎研究所

• 長谷部 健彦

  日立製作所

• 竹中 啓

  (株)日立製作所基礎研究所

• 竹中 啓

  日立製作所

• 横澤 宏一

  日立製作所 中央研究所

• 原田 武

  日立製作所

• 右高 園子

  日立製作所

• 中野 定樹

  日立製作所

• 横澤 宏一

  日立製作所

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著作論文

• 低寄生容量銅多層配線のための新しいプロセス技術 : 砥粒フリー銅CMP(ACP)及び新低誘電率材料:メチルシリコンオキシカーバイド(MTES)
• ED2000-47 / SDM2000-47 低寄生容量銅多層配線のための新しいプロセス技術 : 砥粒フリー鋼CMP(ACP)及び新低誘電率材料:メチルシリコンオキシカーバイド(MTES)
• 低電圧・可変ストローク電磁駆動方式アクチュエータの開発
• プリチャージによる低駆動電圧のための液体搬送デバイス
• MOS構造を用いた半導体FETガスセンサの水素応答性評価

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