上田 修 | 富士通研究所・材料技術研究所

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概要

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• 上田 修

  富士通研究所・材料技術研究所

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• 上田 修

  株式会社富士通研究所材料・環境技術研究所

• 川野 明弘

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• 北田 秀樹

  東京大学大学院工学系研究化総合研究機構

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著作論文

• 化合物半導体デバイスのTEM解析
• 化合物半導体デバイス評価における電子顕微鏡法の寄与
• C ドープ InGaP/GaAs HBTの信頼性
• 14p-DJ-7 Si(001)上のAl薄膜のSTM観察
• Si上のGaAs成長における転位の発生機構と抑制技術
• 25p-Q-8 III-V族化合物半導体ヘテロ構造中の界面および欠陥のTEMによる評価
• Bi-Sr-Ca-Cu-O系CVD膜の電気的特性

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