小池 貴夫 | 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

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概要

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• 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻の論文著者

関連著者

• 松波 弘之

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 松波 弘之

  京大工

• 小池 貴夫

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 松波 弘之

  京都大学工学部電気電子工学教室

• 松波 弘之

  京都大学工学部

• 冬木 隆

  京都大学工学部電気工学第二科

• 小池 貴夫

  京都大学工学部

• 二山 拓也

  京都大学工学研究科電子物性工学専攻

• 松波 弘之

  京都大学工学研究科

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大学

• 小倉 卓

  Necエレクトロニクス株式会社

• 小倉 卓

  (株)genusion

• 松波 弘之

  京都大学大学院工学研究科

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大

• 小倉 卓

  京都大学工学部

• 二山 拓也

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 村中 誠志

  京都大学工学部

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著作論文

• TEOSを原料としてリモートプラズマCVD法により作製したSiO_2膜の電流伝導機構
• 酸素活性種を用いた高品質極薄SiO_2膜の形成とMOSFETへの応用(関西支部研究例会の講演要旨(平成9年度第1回))
• MOSデバイス用極薄SiO_2膜の低温形成

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