大友 篤 | 沖電気工業 超lsi研究開発センター

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概要

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関連著者

• 井田 次郎

  沖電気工業 超lsi研究開発センター

• 大友 篤

  沖電気工業 超lsi研究開発センター

• 井田 次郎

  沖電気工業株式会社

• 鉄田 博

  沖電気工業株式会社生産センタ

• 〓田 博

  沖電気工業株式会社 生産センタ

• おの田 博

  沖電気工業

• 森川 剛一

  沖電気工業 超LSI研究開発センター

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 伊野 昌義

  沖電気工業超LSI研究開発センタ

• 北 明夫

  沖電気工業

• 下川 公明

  沖電気研究本部デバイス研究開発部

• 伊野 昌義

  沖電気工業

• 宇佐見 隆志

  沖電気工業

• 下川 公明

  沖電気工業

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

• 宇佐見 隆志

  沖電気工業超lsi研究開発センタ

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著作論文

• 低誘電率SiOF膜の0.35μmCMOSへの適用
• a-Si/Ti ローカル配線での相互拡散, 寄生容量低減の解析
• a-Si/Ti ローカル配線での相互拡散, 寄生容量低減の解析
• 低誘電率層間膜のサブハ-フミクロンCMOSへの応用 (VLSI) -- (プロセス技術)

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