今井 雅彦 | (株)富士通研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)富士通研究所の論文著者

関連著者

• 伊藤 昭男

  富士通研究所

• 有本 由弘

  (株)富士通研究所 基盤技術研究所

• 有本 由弘

  富士通研

• 堀江 博

  (株)富士通研究所

• 今井 雅彦

  (株)富士通研究所

• 伊藤 昭男

  (株)富士通研究所

• 有本 由弘

  (株)富士通研究所

• 佐々木 伸夫

  (株)富士通研究所

• 佐々木 伸夫

  (株)富士通研究所シリコンテクノロジ研究所

• 佐々木 伸夫

  富士通研究所、ulsiプロセス研究部

著作論文

• 多結晶シリコンとアルミ置換による高アスペクト比ビアプラグの形成技術
• 多結晶シリコンとアルミ置換による微細配線技術
• フィールド酸化膜ストッパ型貼り合わせSOI基板の作製とMOSFETの評価

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