田中 耕二 | 科学技術庁・無機材質研究所

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概要

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• 科学技術庁・無機材質研究所の論文著者

関連著者

• 田中 耕二

  科学技術庁無機材質研究所

• 田中 耕二

  科学技術庁・無機材質研究所

• 道本 隆裕

  (株)ニコン

• 末原 茂

  物質・材料研究機構

• 末原 茂

  科学技術庁無機材質研究所

• 末原 茂

  無機材研

• 末原 茂

  無機材質研究所

• 荒井 敏夫

  (株)ニコン技術工房

著作論文

• B-C-N薄膜における微小硬さの温度依存性
• B-C-N薄膜の光電子スペクトル解析
• 硬質BN薄膜における微小硬さの温度依存性
• サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
• C-6-5 ポストアニールしたBN薄膜の構造
• 硬質BN薄膜における微小硬さの成膜温度依存性
• サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
• サドルフィールド形イオン源によるB-C-N薄膜の作製

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