道本 隆裕 | (株)ニコン

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)ニコンの論文著者

関連著者

• 田中 耕二

  科学技術庁無機材質研究所

• 道本 隆裕

  (株)ニコン

• 田中 耕二

  科学技術庁・無機材質研究所

• 荒井 敏夫

  (株)ニコン技術工房

著作論文

• B-C-N薄膜における微小硬さの温度依存性
• 硬質BN薄膜における微小硬さの温度依存性
• 硬質BN薄膜における微小硬さの成膜温度依存性

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