田中 耕二 | 科学技術庁無機材質研究所
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概要
関連著者
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田中 耕二
科学技術庁無機材質研究所
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田中 耕二
科学技術庁・無機材質研究所
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道本 隆裕
(株)ニコン
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末原 茂
物質・材料研究機構
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末原 茂
科学技術庁無機材質研究所
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末原 茂
無機材研
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末原 茂
無機材質研究所
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荒井 敏夫
(株)ニコン技術工房
著作論文
- B-C-N薄膜における微小硬さの温度依存性
- B-C-N薄膜の光電子スペクトル解析
- 硬質BN薄膜における微小硬さの温度依存性
- サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
- C-6-5 ポストアニールしたBN薄膜の構造
- 硬質BN薄膜における微小硬さの成膜温度依存性
- サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
- サドルフィールド形イオン源によるB-C-N薄膜の作製