B-C-N薄膜の光電子スペクトル解析
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概要
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Bの蒸発と,N_2とCH_4混合ガスのイオンビームの同時蒸着によりB-C-N薄膜を作製し,X線光電子分光法による結合エネルギーと組成を分析した結果から,B-C-Nに関する新しい構造モデルを提案した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-06-25
著者
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