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荒井 敏夫 | (株)ニコン技術工房
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(株)ニコン技術工房の論文著者
関連著者
田中 耕二
科学技術庁無機材質研究所
道本 隆裕
(株)ニコン
田中 耕二
科学技術庁・無機材質研究所
荒井 敏夫
(株)ニコン技術工房
著作論文
硬質BN薄膜における微小硬さの温度依存性
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