サドルフィールド形イオン源によるB-C-N薄膜の作製
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概要
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ホウ素を蒸発させつつ,サドルフィールド形イオン源を使って,メタンと窒素混合ガスのイオンビームを照射する方法により,B-C-N薄膜を作製し,得られた膜の組成と構造をEPMA,ET-IRおよびラマン分光法により調べた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-25
著者
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