サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
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概要
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電子ビームによるBの蒸発と,サドルフィールド形のイオン源を使った活性窒素ビーム照射によるBN薄膜の作製過程におけるイオンの役割をイオンの量を制御して調べた結果,活性窒素の中からほとんどのイオンを除去してもBNが形成されることが明らかになった.
- 1996-05-25
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