徐 應瑜 | 静岡大学 電子科学研究科

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概要

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関連著者

• 徐 應瑜

  静岡大学 電子科学研究科

• 村松 隆広

  静岡大学 電子工学研究所

• 村松 隆広

  静岡大学電子工学研究所

• 畑中 義式

  静岡大学電子工学研究所

• 青木 徹

  静岡大学電子工学研究所

• 徐 應瑜

  静岡大学電子科学研究科

• 畑中 義式

  静岡大学大学院電子科学研究科

• 安間 英任

  (株)小糸製作所

• 徐 應瑜

  静岡大学大学院電子科学研究科

• 野中 秀紀

  静岡大学電子工学研究所

• 中西 洋一郎

  静岡大学大学院工学研究科電子工学

• 青木 徹

  静岡大学大学院電子科学研究科

• 畑中 義式

  静岡大

• 畑中 義式

  静岡大学 電子科学研究科

• 青木 徹

  静岡大学 電子工学研究所

• 野中 秀紀

  静岡大学 電子工学研究所

• 安間 英任

  静岡大学(株)小糸製作所

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著作論文

• 有機シリコン材料からのSiC薄膜の形成
• リモートプラズマCVD法を用いたHMDSからのSi系薄膜形成過程の検討
• 有機シリコン材料を用いたリモートプラズマCVD法によるSiC薄膜の低温成長
• プラズマCVD法によるSiC薄膜の形成
• プラズマCVD法によるSiC薄膜の形成
• プラズマCVD法によるSiC薄膜の形成
• 有機シリコン材料からのSiC薄膜の形成
• 有機シリコン材料を用いたリモートプラズマCVD法によるSiC薄膜の低温成長

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