坂上 正和 | 北見工業大学電気電子工学科
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概要
関連著者
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武山 真弓
北見工業大学電気電子工学科
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野矢 厚
北見工業大学工学部電気電子工学科
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野矢 厚
北見工業大学電気電子工学科
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坂上 正和
北見工業大学電気電子工学科
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武山 真弓
北見工業大学
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野矢 厚
北見工業大学
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糸井 貴臣
北見工業大学電気電子工学科:(現)千葉大学
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佐藤 和美
北見工業大学電気電子工学科:(現)(株)日立国際電気
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武山 真弓
北見工業大学工学部電気電子工学科
著作論文
- Cu/VN/SiO_2/Si構造におけるナノクリスタルVNバリヤの有用性
- Cu/SiO_2間に介在させたV-N膜の界面反応と拡散挙動
- Cu/SiO_2間におけるNb-Nバリヤ層の適用
- SiO_2上のCu配線におけるNb介在層の適用