岡崎 信次 | 株式会社日立製作所 中央研究所
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概要
関連著者
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岡崎 信次
株式会社日立製作所 中央研究所
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岡崎 信次
(株)日立製作所 中央研究所
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岡崎 信次
日立中研
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奥平 定之
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白石 洋
株式会社日立製作所中央研究所
著作論文
- 超解像光リソグラフィ
- リソグラフィー ( ミクロを創る 2.半導体-1)
- ギガスケールメモリ対応リソグラフィ技術の展望
- 電子線単層ポジ型レジストプロセスの開発
- 電子線ポジ型化学増幅系レジストPSRの現像特性評価とプロセス応用
- 3p-F-16 極微細MOSFETのしきい電圧付近の電気伝導異常
- 超LSIにおける微細加工の動向
- 超LSIにおける微細加工の動向
- 極端紫外線(EUV)リソグラフィー用高分子材料への期待
- 位相シフトリソグラフィー - 位相シフト露光法による光リソグラフィーの解像力向上 -