岡崎 信次 | 日立中研
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概要
関連著者
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岡崎 信次
日立中研
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岡崎 信次
株式会社日立製作所 中央研究所
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村山 良昌
日立基礎研
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片山 良史
日立中研
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白木 靖寛
日立中研
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白木 靖寛
日立
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井倉 康雄
日立中研
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岡崎 信次
Aset
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片山 良史
光技研:(現)フェムト秒テクノロジー
著作論文
- 超解像光リソグラフィ
- 3p-F-16 極微細MOSFETのしきい電圧付近の電気伝導異常
- リソグラフィとドライエッチング技術による超LSI微細加工 (ハイ-インテリジェンス機器の設計技術--90年代対応"5つの課題"と品質保証) -- (事例編)
- リソグラフィ技術
- 超高密度集積回路用リソグラフィ
- ビーム応用
- 位相シフト技術
- 位相シフト法を用いた高解像光リソグラフィ-技術