豊田 一行 | (株)日立国際電気
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概要
関連著者
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豊田 一行
(株)日立国際電気
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豊田 一行
日立国際電気
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富山県大
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(株)日立国際電気
著作論文
- 窒素雰囲気でのコロナ放電イオナイザーの動作特性と除電効果
- ガス導入及びプラズマのパルス化によるイオン種の均一性向上
- 大口径プラズマにおけるイオン種空間分布の測定
- パルスプラズマにおけるフラグメントイオンのRF電力依存性
- マイクロ波を重畳したICPプラズマの特性
- 触媒CVD法による高移動度poly-Si TFTの作製
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- 29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)